Al/Al_2O_3多层膜的表面分析与电性能的研究
Studies of Al/Al_2O_3 Nano-layers Surface and Its Electric Properties作者机构：大连铁道学院辽宁大连116028 澳大利亚新南威尔士大学光伏工程研究中心
出 版 物：《真空科学与技术》 (Vacuum Science and Technology)
年 卷 期：2002年第22卷第6期
页 面：412-416页
学科分类：0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 07[理学] 070205[理学-凝聚态物理] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 080502[工学-材料学] 0702[理学-物理学]
主 题：Al/Al2O3多层膜 表面分析 电性能 铝 氧化铝 电子结构
摘 要：用热蒸发沉积和自然氧化及加热法制备纳米量级的Al/Al2 O3 薄膜和多层膜。本文用X射线光电子能谱 (XPS)和紫外光电子能谱 (UPS)对样品进行价带能谱的检测与分析。获得的Al/Al2 O3 多层膜价带的XPS光电子能谱谱形基本相似 ;通过对Al/Al2 O3 三层膜在不同极角的UPS谱线的检测 ,得到其Ei (k∥i )关系曲线。此外 ,测定了低温下的I U特性 ,发现纳米量级的Al/Al2 O3 薄膜具有负阻特性。
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