纳米操作系统的研究现状与关键技术
State-of-the-Art and Key Technologies of Nanomanipulation Systems作者机构：哈尔滨工业大学机器人研究所黑龙江哈尔滨150001
出 版 物：《制造技术与机床》 (Manufacturing Technology & Machine Tool)
年 卷 期：2007年第3期
页 面：54-57页
学科分类：08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 0803[工学-光学工程]
摘 要：纳米操作是用于研究纳米材料、结构和装置的性质特征的基本技术,也是纳米构筑单元准备、纳米设备装配的必备技术。目前典型的纳米操作系统有基于扫描探针显微镜的系统,基于电子显微镜的系统,基于光镊的系统及混合式系统。详细阐述了各类系统的特点和发展现状。分析了末端工具、显微成像、定位与驱动、操作策略等纳米操作系统中的关键技术,并对发展趋势进行了展望。
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