用同步辐射XRF研究单晶硅中掺杂元素As的分布
作者机构：中国科学院高能物理研究所北京100080 北京有色金属研究总院北京100088
出 版 物：《科学通报》 (Chinese Science Bulletin)
年 卷 期：1992年第37卷第21期
页 面：1949-1951页
核心收录：
学科分类：080903[工学-微电子学与固体电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 080502[工学-材料学]
基 金：国家自然科学基金
摘 要：半导体材料中掺入少量杂质元素可以改变材料性能,掺杂元素在晶体中的含量和分布直接影响材料的质量。电子技术的发展需要批量生产出高质量的各种掺杂的硅单晶材料,这就要求建立一种快速准确的分析测试手段与之相适应。 同步辐射X射线荧光(SRXRF)是80年代发展起来的一种新技术。
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