φ300mm/0.18μm对栅极氧化层的要求及设备
作者机构：无锡市无线电元件四厂
出 版 物：《电子工业专用设备》 (Equipment for Electronic Products Manufacturing)
年 卷 期：1999年第28卷第2期
页 面：15-17页
学科分类：080903[工学-微电子学与固体电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 080502[工学-材料学]
摘 要：介绍了３００ｍｍ／０．１８μｍ对栅极氧化层的要求、生长极薄栅极氧化层的方法及其形成栅极氧化层的设备。
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