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用热丝法生长大面积高质量金刚石膜

作     者:庞国锋 石岩 

出 版 物:《薄膜科学与技术》 

年 卷 期:1995年第8卷第2期

页      面:141-146页

学科分类:080903[工学-微电子学与固体电子学] 0809[工学-电子科学与技术(可授工学、理学学位)] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程(可授工学、理学学位)] 080502[工学-材料学] 

主  题:金刚石薄膜 薄膜 生长 热丝法 

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