同型外延材料表面光伏法测试的分析
ANALYSIS OF THE SURFACE PHOTO-VOLTAGE METHOD MEASUREMENTS作者机构：杭州大学杭州310028 宁波高等专科学校宁波315010
出 版 物：《电子科学学刊》 (Journal of Electronics & Information Technology)
年 卷 期：1993年第15卷第1期
页 面：103-107页
核心收录：
学科分类：080903[工学-微电子学与固体电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 080502[工学-材料学]
基 金：高纯硅及硅烷国家实验室资助课题
摘 要：本文应用数值计算方法研究了表面光电压是表面非平衡少子浓度的单调函数这一假设对于同型外延材料的可应用性。我们发现这一假设对该材料一般地说并不成立。因此在使用等光伏表面光伏法测试同型外延材料少子扩散长度时一般不应把表面非平衡少子浓度视为常数。在文中,我们也分析了可以把表面非平衡少子浓度作常数处理的条件。
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