压电微流量阀驱动电源的研究

作     者：张蕊华 陈海初 张建辉 熊根良 ZHANG Ruihua;CHEN Haichu;ZHANG Jianhui;XIONG Genliang

作者机构：南京航空航天大学机械结构强度与振动国家重点实验室江苏南京210016 南昌大学机电工程学院江西南昌330031 浙江大学流体动力与机电系统国家重点实验室浙江杭州310027 

出 版 物：《压电与声光》 (Piezoelectrics & Acoustooptics)

年 卷 期：2011年第33卷第6期

页      面：935-938页

核心收录：

学科分类：080903[工学-微电子学与固体电子学] 080801[工学-电机与电器] 0808[工学-电气工程] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 080502[工学-材料学] 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(50905083 50965014) 江西省自然科学基金资助项目(2010GZC0121) 浙江大学流体动力与机电系统国家重点实验室开放基金资助项目(GZKF-201011) 

主　　题：压电陶瓷 精密驱动 微流量阀 直接数字频率合成(DDS)集成芯片 

摘      要：研究了一种低纹波输出的压电陶瓷驱动电源,实现对压电驱动微流量阀的输出微流量的控制。利用单片机控制数字频率合成芯片来产生各种函数信号,研究了高低压稳压电路、小信号放大处理及功率放大电路,控制信号经滤波、放大及稳压等处理后,函数信号形成高压输出,驱动压电陶瓷,对微流量阀阀芯位移进行驱动,从而实现对微流量阀输出微流量的精密控制。通过对该电源输出特性的试验研究,结果表明,该电源具有良好的输入输出线性特性及低纹波特性,其线性度拟合相对误差仅为84mV,高压输出纹波电压低于10mV,这对提高微流量阀输出微流量的控制精度具有重要意义。