试样参数对划痕试验临界载荷的影响
Effect of Sample Parameters on Critical Load of Scratching Test作者机构:大连理工大学三束材料改性国家实验室大连大学离子镀研究室
出 版 物:《真空》 (Vacuum)
年 卷 期:1994年第31卷第5期
页 面:13-19页
学科分类:08[工学] 080502[工学-材料学] 0805[工学-材料科学与工程(可授工学、理学学位)]
摘 要:本文有摩擦力监测的划痕法研究了试样参数(基体硬度、膜厚、基体表面粗糙度等)对硬质摩膜(或软膜)的临界载荷Lc的影响.样品基材是W6Mo5Cr4V2、5CrMnMo、45钢、A3钢和不锈钢.膜层为磁控溅射离子镀TiN膜和Ti膜、化学镀NiPCU膜,以及在Si3N4上溅射镀Al膜.结果发现离子度TiN膜和Ti膜与NiPCu膜规律不同,TiN膜和Ti膜的临界载荷Lc随基体硬度的提高而提高,但当基体硬度接近和超过膜层硬度时,Lc变化不大;基体粗糙度增加时Lc下降;随膜厚的增加Lc提高.而化学镀NiPCu膜的临界载荷Lc随基体硬度的提高而下降,随基体表面粗糙度的提高而增加.以W6Mo5Cr4V2为基体的NiPCu膜,随膜厚的增加Lc变化不大.本文对上述规律的实质进行了初步探讨,并对目前生产中正在推广的工具钢磁控溅射离子镀TiN膜的划痕法标准提出建议.