光化学氧化对多孔硅稳定性及SO_2传感性能影响
Effect of Photochemical Oxidization on Stability and SO_2 Sensing Performance of Porous Silicon作者机构:重庆大学化学化工学院重庆400044 教育部光电技术及系统重点实验室
出 版 物:《应用化学》 (Chinese Journal of Applied Chemistry)
年 卷 期:2007年第24卷第5期
页 面:512-516页
核心收录:
学科分类:081704[工学-应用化学] 07[理学] 070304[理学-物理化学(含∶化学物理)] 08[工学] 0817[工学-化学工程与技术] 0703[理学-化学]
摘 要:采用光化学氧化方法对多孔硅进行后处理,获得具有良好稳定性的氧化多孔硅;采用SEM、AFM、FT-IR进行表征;通过SO2传感实验,评价其光致发光谱的变化。结果表明,采用电化学阳极氧化制备的新鲜多孔硅在空气中稳定性较差,SEM图表明其膜层分布有120×40μm的长方形小块,光化学氧化后使该长方形小块进一步分裂变细;AFM图表明,新鲜制备的多孔硅经稳定化处理后,表面硅柱宽度由700~750 nm变为300~350 nm,高度由50~58 nm变为40 nm;出现Si—O键(1 114 cm-1)和OSi—H键(2 249 cm-1)的振动峰;该氧化多孔硅在SO2介质中呈可逆的荧光猝灭特征,荧光峰的位置不随SO2浓度变化而发生移动,稳定性较好。