俄歇电子能谱的峰形修正与峰形分析
METHODS FOR AUGER LINESHAPE CORRECTION AND ANALYSIS作者机构：清华大学电子工程系北京100084
出 版 物：《真空科学与技术》 (Vacuum Science and Technology)
年 卷 期：1993年第13卷第6期
页 面：367-374页
学科分类：080901[工学-物理电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学]
基 金：国家自然科学基金
摘 要：介绍一系列峰形修正的方法——包括本底的扣除、仪器响应函数的修正、非弹性散射影响的消除等,并将其应用于Si(100)表面的俄歇峰形分析中,对于L_(23)VV,L_1L_(23)V峰取得了与理论计算符合很好的结果,从中可以提取出丰富的价带局域电子态信息。
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