热处理和掺铝量对溶胶-凝胶法制备AZO薄膜光电性能的影响

作     者：张丽丽 周炳卿 张林睿 李海泉 ZHANG Li-li;ZHOU Bing-qing;ZHANG Lin-rui;LI Hai-quan

作者机构：内蒙古师范大学物理与电子信息学院功能材料物理与化学自治区重点实验室呼和浩特010022 

出 版 物：《人工晶体学报》 (Journal of Synthetic Crystals)

年 卷 期：2013年第42卷第11期

页      面：2270-2274,2279页

核心收录：

学科分类：08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 

基　　金：国家自然科学基金(51262022) 

主　　题：溶胶 凝胶法 AZO薄膜 光电性能 

摘      要：以(CH3COO)2Zn·2H2O和AlCl3·6H2O为前驱物,以普通玻璃为基底利用溶胶-凝胶旋转涂膜法制备AZO薄膜。采用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、紫外-可见分光光度计、四探针电阻测试仪等对AZO薄膜的物相组分、表面形貌、透射率和方块电阻进行测量与表征,并研究了热处理温度和掺铝量对AZO薄膜的结构和光电性能的影响。结果表明:AZO薄膜的结构和光电性能与不同的热处理温度和掺铝量有关,实验得到了最佳的工艺条件为热处理温度为500℃,热处理时间为60 min,掺Al溶度为1mol%,镀膜层数为8层。