含纳米硅和纳米锗的氧化硅薄膜光致发光的比较研究

作     者：马书懿 秦国刚 尤力平 王印月 MA SHU\|YI 1) QIN GUO GANG 2) YOU LI PING 2) WANG YIN YUE 3) 1) (Department of Physics, Northwest Normal University, Lanzhou\ 730070, China) 2) (Department of Physics, Peking University, Beijing\ 100871, China

作者机构：西北师范大学物理系兰州730070 北京大学物理系北京100871 兰州大学物理科学与技术学院兰州730000 

出 版 物：《物理学报》 (Acta Physica Sinica)

年 卷 期：2001年第50卷第8期

页      面：1580-1584页

核心收录：

学科分类：07[理学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 070205[理学-凝聚态物理] 08[工学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 080502[工学-材料学] 0704[理学-天文学] 0702[理学-物理学] 

基　　金：国家自然科学基金 (批准号 :5 9772 0 2 7) 甘肃省教育委员会科研基金 (批准号 :981 17) 西南石油学院油气藏地质及开发工程国家重点 

主　　题：光致发光 纳米硅 纳米锗 发光中心 氧化硅薄膜 

摘      要：分别以硅 二氧化硅和锗 -二氧化硅复合靶作为溅射靶 ,采用磁控溅射技术在p型硅衬底上淀积了含纳米硅的氧化硅薄膜和含纳米锗的氧化硅薄膜 .各样品分别在氮气氛中经过 30 0至 110 0℃不同温度的退火处理 .使用高分辨透射电子显微镜可以观察到经 90 0和 110 0℃退火的含纳米硅的氧化硅薄膜中的纳米硅粒 ,和经 90 0和 110 0℃退火的含纳米锗的氧化硅薄膜中的纳米锗粒 .经过不同温度退火处理的含纳米硅的氧化硅和含纳米锗的氧化硅薄膜的光致发光谱均具有相似的峰型 ,且它们的发光峰位均位于 5 80nm(2 .1eV)附近 .可以认为含纳米硅的氧化硅和含纳米锗的氧化硅薄膜的光发射主要来自于SiO2 层中发光中心上的复合发光 。