光子学在半导体工业中的应用
作者机构：同济大学物理系上海200092
出 版 物：《半导体光电》 (Semiconductor Optoelectronics)
年 卷 期：2002年第23卷第2期
页 面：142-144页
学科分类：080903[工学-微电子学与固体电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 080502[工学-材料学]
主 题：半导体工业 光子学 平版印刷术 线宽 泵浦激光器 激光束聚焦 二极管泵浦 氮氧化硅 半导体生产 机器视觉
摘 要：半导体的发展方向是高速率、高集成度和低成本。诸如激光器、显微镜、透镜等光学技术手段在半导体工业中有着广泛的应用，并正寻找新的和更好的方法使半导体生产更加有效。虽然光学技术面临来自基于离子和电子的技术的竞争，但是这些技术仍将需要光子学的协助。本文综述了各种光子学技术在半导体工业中的应用。
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