面内传播方向对SAW滤波器性能的影响研究

作     者：朱建宇 魏子杰 范维 李沛然 钱一聪 帅垚 吴传贵 罗文博 潘忻强 张万里 ZHU Jianyu;WEI Zijie;FAN Wei;LI Peiran;QIAN Yicong;SHUAI Yao;WU Chuangui;LUO Wenbo;PAN Xinqiang;ZHANG Wanli

作者机构：重庆邮电大学光电工程学院重庆400065 电子科技大学重庆微电子产业技术研究院重庆401332 电子科技大学电子科学与工程学院四川成都611731 

出 版 物：《压电与声光》 (Piezoelectrics & Acoustooptics)

年 卷 期：2024年第46卷第4期

页      面：435-438页

学科分类：080903[工学-微电子学与固体电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 080502[工学-材料学] 

基　　金：四川省科技计划基金资助项目(2020YFJO02) 

主　　题：声表面波(SAW) 窄带 谐振器 带外抑制 压电材料 

摘      要：为了满足窄带声表面波滤波器对品质因数Q值和带外抑制日益增长的需求,提出了一种窄带滤波器设计方法。在基于新型POI结构谐振器的基础上,通过旋转谐振器达到改变波传播角度的目的,并利用二维全模型得到准确的实验数据,与原结构谐振器分别代入滤波器设计中进行比较。实验结果表明,该方法在一定程度上能够有效地增加带外抑制,对过渡带抑制能力有2~4 dB的提升,且具有设计简便,占用空间小等优点。