飞秒激光双光子微细结构的制备

作     者：周明 刘立鹏 戴起勋 潘传鹏 ZHOU Ming;LIU Li-peng;DAI Qi-xun;PAN Chuan-peng

作者机构：江苏大学材料科学与工程学院江苏镇江212013 

出 版 物：《中国激光》 (Chinese Journal of Lasers)

年 卷 期：2005年第32卷第10期

页      面：1342-1346页

核心收录：

学科分类：080903[工学-微电子学与固体电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 080502[工学-材料学] 

基　　金：国家自然科学基金(50275069 50375068)资助项目 

主　　题：超快光学 飞秒激光 微细加工 双光子吸收 光聚合 光子晶体 

摘      要：基于双光子吸收引发的光聚合局限在紧密聚焦的焦点区域的原理,建立了飞秒激光三维微细加工系统;结合高斯光束的强度分布函数,推导了横向与轴向分辨率的表达式。在ORMOCER材料内实现了双光子光聚合,最高加工精度达到0.7μm。研究表明,加工线宽随功率增加而增加,随加工速度增加而减小;确定了波束腰为0.425μm,双光子吸收截面为2×10-54cm4.s。采用双光子光聚合技术,加工了齿宽5μm的实体微型齿轮,制备三维木堆型光子晶体结构,分辨率为1.1μm,杆间距和层间距均为5μm,实现了飞秒双光子光子晶体结构的制备。