硅基/聚酰亚胺湿度敏感元件研究
Study on Si-substrate/polyimide humidity sensing device作者机构：黑龙江大学集成电路重点实验室黑龙江哈尔滨150080
出 版 物：《黑龙江大学自然科学学报》 (Journal of Natural Science of Heilongjiang University)
年 卷 期：2005年第22卷第6期
页 面：822-825页
学科分类：080903[工学-微电子学与固体电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 080502[工学-材料学]
基 金：黑龙江大学集成电路重点实验室项目
摘 要：硅基/聚酰亚胺湿度传感器是采用集成电路光刻工艺在硅衬底上制成了以PI材料为介质膜,以金、铝为电极的电容式湿度传感器。给出了聚酰亚胺(PI)材料的感湿机理,硅基/聚酰亚胺湿敏电容的结构,以及湿度传感器的制造工艺、湿敏特性、工作原理及应用等。测试结果表明,在相对湿度为10%-90%RH范围内C-%RH曲线线性度良好。
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