用于高功率激光装置的压电步进驱动器

作     者：王斌 张涛 杨朋千 王勇 朱健强 Wang Bin;Zhang Tao;Yang Pengqian;Wang Yong;Zhu Jianqiang

作者机构：中国科学院上海光学精密机械研究所高功率激光物理联合实验室上海201800 中国科学院研究生院北京100039 

出 版 物：《强激光与粒子束》 (High Power Laser and Particle Beams)

年 卷 期：2010年第22卷第9期

页      面：2087-2091页

核心收录：

学科分类：080903[工学-微电子学与固体电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 080502[工学-材料学] 081102[工学-检测技术与自动化装置] 0811[工学-控制科学与工程] 

主　　题：层叠式压电陶瓷 柔性铰链 压电步进驱动器 高功率激光装置 

摘      要：根据神光Ⅱ高功率激光装置的具体工程需求,设计了一种以层叠式压电陶瓷为驱动元件的新型压电步进驱动器。驱动器利用杠杆机构实现箝位机构和进给机构交替箝位动子,通过对压电陶瓷小步距的位移连续累加的步进方式,实现大行程直线位移;具有控制简单、行程大、分辨力高及断电箝位的特点。样机试验结果表明,驱动器的运动分辨力达到nm级,步距分辨力达到50nm,行程21mm。