新型金黄色富硅氮化硅阳光控制膜的制备及性能

作     者：贾绍辉 张家震 张淮凌 杨田林 JIA Shaohui;ZHANG Jiazhen;ZHANG Huailing;YANG Tianlin

作者机构：威海中玻镀膜玻璃股份有限公司山东威海264200 山东大学威海分校山东威海264209 

出 版 物：《硅酸盐学报》 (Journal of The Chinese Ceramic Society)

年 卷 期：2016年第44卷第4期

页      面：566-571页

核心收录：

学科分类：08[工学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 080502[工学-材料学] 

主　　题：阳光控制膜 氮化硅 磁控溅射 玻璃基片 

摘      要：采用磁控溅射方法,以纯Si作为靶材,Ar和N_2为溅射气体在3 300 mm宽幅的玻璃基片上制备出大面积均匀的金黄色阳光控制膜。利用X射线衍射、X射线光电子能谱和椭偏仪对不同工艺参数下薄膜的结构、组成和光学参数进行了表征。结果表明:金黄色阳光控制膜的主要成分为富硅氮化硅相;溅射功率和溅射气体通过影响薄膜中硅/氮化硅含量比而改变薄膜的外观颜色。优化工艺条件下制备的金黄色阳光控制膜的色度指标为L*=62.4,a*=4.5,b*=31.6,遮阳系数可达0.59,具有良好的装饰和节能效果。