中国科学院物理研究所的离子束分析及离子注入改性研究
Progress of research work on ion beam analysis, ion implantation and material modification in Institute of Physics, Academia Sinica作者机构：中国科学院物理研究所北京100080
出 版 物：《核技术》 (Nuclear Techniques)
年 卷 期：1993年第16卷第10期
页 面：607-609页
核心收录：
学科分类：080903[工学-微电子学与固体电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 080502[工学-材料学]
摘 要：介绍了中国科学院物理研究所离子束研究室的主要设备、分析方法、离子注入材料改性研究以及近年来在半导体材料、高Tc超导材料、环保等领域中的研究工作。
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