氧化剂含量对304不锈钢化学机械抛光的影响

作     者：季明捷 陈国美 倪自丰 张鑫 郑世坤 JI Mingjie;CHEN Guomei;NI Zifeng;ZHANG Xin;ZHENG Shikun

作者机构：江南大学机械工程学院江苏无锡214122 无锡商业职业技术学院机电技术学院江苏无锡214153 江苏省微纳增减材制造工程研究中心江苏无锡214122 

出 版 物：《润滑与密封》 (Lubrication Engineering)

年 卷 期：2024年第49卷第5期

页      面：152-158页

学科分类：08[工学] 080203[工学-机械设计及理论] 0802[工学-机械工程] 

基　　金：国家自然科学基金项目(52205196) 江苏省高等学校自然科学研究面上项目(19KJB460023)。 

主　　题：304不锈钢 化学机械抛光 氧化剂 电化学 

摘      要：为了探究氧化剂含量对304不锈钢化学机械抛光的影响及其作用机制,采用过氧化氢作为氧化剂,研究不同氧化剂质量分数下304不锈钢材料去除率及表面粗糙度值的变化规律,并基于接触角和电化学试验分析过氧化氢在抛光过程中的作用机制。结果表明:化学机械抛光过程中过氧化氢含量的增加有利于304不锈钢表面氧化膜的生成,从而有效提高304不锈钢的材料去除率及表面质量;但是过高的过氧化氢含量会导致304不锈钢表面氧化膜致密,使得化学作用与机械作用失衡从而造成304不锈钢表面质量下降;当过氧化氢质量分数为0.04%时,抛光后304不锈钢表面粗糙度值最低,仅有2.5 nm,材料去除率达到324.21 nm/min。