基板玻璃铂金通道装备寿命研究
Lifetime Analysis of Substrate Glass Platinum Channel Equipment作者机构：彩虹显示器件股份有限公司咸阳712000 平板显示玻璃工艺技术国家工程研究中心咸阳712000
出 版 物：《玻璃》 (Glass)
年 卷 期：2024年第51卷第4期
页 面：12-16页
学科分类：08[工学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 080502[工学-材料学]
基 金：陕西省厅市联动重点项目课题资助2022GD-TSLD-02
摘 要：基于铂铑合金材料高温氧化原理,通过对停运线体的系统性解析,结合铂金通道基本结构和运行工艺特点,开展寿命失效问题的关联性调查与分析,明确了通道失效的核心区域位于澄清段的法兰根部本体附近,并通过大量数据的采集与比对,建立起了通道本体失效断裂的多变量数学关系式,不仅可以实现对在线装备基体衰减状态及剩余寿命的实时评测与估算,也为后续线体更长寿命的设计提供支持。
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