用于无模光刻的连续浮雕谐衍射透镜阵列设计

作     者：单明广 钟志 郭黎利 SHAN Ming-guang;ZHONG Zhi;GUO Li-li

作者机构：哈尔滨工程大学信息与通信工程学院黑龙江哈尔滨150001 哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所黑龙江哈尔滨150001 

出 版 物：《光学精密工程》 (Optics and Precision Engineering)

年 卷 期：2010年第18卷第1期

页      面：9-14页

核心收录：

学科分类：080903[工学-微电子学与固体电子学] 0808[工学-电气工程] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 080502[工学-材料学] 0702[理学-物理学] 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(No.60878028) 黑龙江省博士后经费资助项目(No.LBH-Z08214) 哈尔滨市科技创新人才研究专项基金资助项目(No.2008RFQXG024 No.2009RFQXG055) 哈尔滨工程大学基础研究基金资助项目(No.HEUFT07079) 

主　　题：无模光刻 连续浮雕衍射透镜 谐衍射 

摘      要：为了获得实时调焦写入以及高的系统分辨力和衍射效率,提出了一种基于连续浮雕谐衍射透镜阵列的无模光刻方法。该方法采用连续浮雕谐衍射透镜阵列作为无模光刻的物镜阵列,在兼顾系统分辨力和衍射效率基础上,由同一衍射透镜阵列实现聚焦写入和检焦;同时利用谐衍射透镜的深浮雕特性调制透镜的环带宽度,降低透镜的制作难度。在分析谐衍射透镜特点以及考虑激光直写制作工艺对连续深浮雕衍射聚焦特性影响的基础上,设计、制作并测试了设计波长为441.6nm,F数为7.5的连续浮雕谐衍射透镜阵列。测试结果表明,该阵列同时具有聚焦写入和检焦功能,且对写入激光和检焦激光的衍射效率均优于70%,有望改善无模光刻的制作质量。