六氟丁二烯的合成研究进展
Research Progress in Synthesis of Hexafluorobutadiene作者机构：中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司河北邯郸057550
出 版 物：《低温与特气》 (Low Temperature and Specialty Gases)
年 卷 期：2024年第42卷第1期
页 面：1-4,11页
学科分类：081704[工学-应用化学] 07[理学] 08[工学] 0817[工学-化学工程与技术] 070303[理学-有机化学] 0703[理学-化学]
摘 要：在大规模集成电路制程中,六氟丁二烯作为蚀刻剂使用。与传统蚀刻剂相比,六氟丁二烯蚀刻速率更快、选择性和深宽比更高、环境更友好。对六氟丁二烯的合成方法进行归纳和总结,为高纯六氟丁二烯的研发和生产提供参考。
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