脉冲激光制膜新技术及其在功能薄膜研究中的应用
The Pulsed Laser Deposition Technique and its Applications in the Study of Functional Thin Films作者机构：北京大学物理系 北京大学微电子研究所 汕头大学科学院材料所 清华大学物理系
出 版 物：《功能材料》 (Journal of Functional Materials)
年 卷 期：1998年第29卷第2期
页 面：132-135页
核心收录：
学科分类：08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）]
摘 要：脉冲激光制膜是近年来发展的富有希望的制膜新技术。本文简要介绍了脉冲激光制膜技术的原理、特点和优势以及在功能薄膜研究中的应用。
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