不锈钢化学腐蚀防护碳层

作     者：R．D．Mansano[巴西] 蒋修治（译） 

出 版 物：《不锈（市场与信息）》 (China Stainless Market and Information)

年 卷 期：2005年第17期

页      面：15-17页

学科分类：081704[工学-应用化学] 07[理学] 08[工学] 0817[工学-化学工程与技术] 070302[理学-分析化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 080502[工学-材料学] 0703[理学-化学] 

主　　题：类金刚石薄膜 碳膜 防护层 化学惰性 不锈钢 腐蚀防护 傅里叶变换红外光谱 薄膜沉积 碳层 射频磁控溅射 

摘      要：氢化碳（a-C：H）薄膜具有良好的化学惰性、耐磨性、热稳定性和导热性，对其作为一种替代材料用作钢的防护层进行了研究。利用射频磁控溅射，在压力0．6Pa、射频功率150W和室温的条件下将薄膜沉积在不锈钢、普通碳钢和硅片上。工艺中使用甲烷等离子体。以各种酸（H2SO4、HNO3、HCl、HF）、碱性溶液（NH4OH、KOH）和有机溶剂（2-丙醇，二甲苯和丙酮）进行湿法腐蚀试验。用傅里叶变换红外光谱、拉曼光谱、原子力显微镜和循环伏安测量对试样进行了分析。试样的退化速度慢和腐蚀程度低表明a-C：H薄膜有很高的耐化学性，这意味着该薄膜是一种很有发展前途的材料，可作为防护层应用于化学工业的许多领域。