基于ASM E2000外延炉温控系统的电压校准研究

作     者：徐卫东 任凯 何晶 肖健 冯萍 XU Weidong;REN Kai;HE Jing;XIAO Jian;FENG Ping

作者机构：南京国盛电子有限公司南京211111 南京洛普股份有限公司南京210032 

出 版 物：《电子与封装》 (Electronics & Packaging)

年 卷 期：2024年第24卷第1期

页      面：73-77页

学科分类：080903[工学-微电子学与固体电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 080502[工学-材料学] 

主　　题：可控硅 热电偶 温度控制 电压调整 ASM E2000外延炉 

摘      要：ASM E2000外延炉采用可控硅(SCR)来控制加热灯管的输入电压,采用热电偶(TC)监测并反馈温度的方式进行加热。该机型的加热系统中,各项电压的校准精度决定了系统控制的温度精度。研究的温控系统可分为TC电路板和SCR电路板,对于TC信号处理板的电压校准,其校准精度应在±0.01 V;对于SCR控制信号的电压校准,其校准精度应在±0.001 V;对于SCR输出的电压校准,应优先测量进电电压,根据负载和进电电压的具体情况做出调整,其校准精度应在±1 V。这样的校准方法可以有效、精准地控制生长温度,并使机台间的差异性达到最小,提升机台的标准化能力。