面向激光防护应用的金刚石/V_2O_5膜系设计与制备

作     者：左杨平 卢文壮 张圣斌 余亚平 冯森 左敦稳 Zuo Yangping;Lu Wenzhuang;Zhang Shengbin;Yu Yaping;Feng Sen;Zuo Dunwen

作者机构：南京航空航天大学机电学院江苏南京210016 江苏省精密与微细制造技术重点实验室江苏南京210016 

出 版 物：《红外与激光工程》 (Infrared and Laser Engineering)

年 卷 期：2015年第44卷第8期

页      面：2491-2495页

核心收录：

学科分类：0808[工学-电气工程] 080901[工学-物理电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 0802[工学-机械工程] 0825[工学-航空宇航科学与技术] 0704[理学-天文学] 0803[工学-光学工程] 0702[理学-物理学] 

基　　金：国家自然科学基金(51275230) 南京航空航天大学研究生创新基地(实验室)开放基金(kfjj130116) 中央高校基本科研业务费专项资金(3082013NP2013505) 

主　　题：激光防护 膜系设计 红外增透 V2O5 磁控溅射 

摘      要：针对目前激光对红外光电传感器的威胁,为满足红外传感器在可见光与3～5μm波段高透射,低于3μm波段高反射的使用要求,采用光学金刚石作为红外窗口材料,采用具有热致相变特性的V2O5薄膜作为激光防护涂层,采用Zn S和Yb F3作为高低折射率材料,依据膜系设计理论设计具有抗激光致盲能力的红外增透膜并采用TFCalc优化膜系。采用离子辅助法制备增透膜,采用磁控溅射法在实验制备增透膜上制备V2O5涂层。采用扫描探针显微镜对光学薄膜的表面三维形貌及粗糙度进行测试分析,对薄膜进行红外光谱测试分析,结果满足使用设计要求。