一种半球谐振子性能参数辨识算法
An Identification Method for Performance Parameters of Hemispherical Shell Resonator作者机构:清华大学精密仪器系导航技术工程中心北京100084 中国人民解放军陆军军事交通学院镇江校区江苏镇江212003
出 版 物:《压电与声光》 (Piezoelectrics & Acoustooptics)
年 卷 期:2023年第45卷第4期
页 面:489-493页
学科分类:080903[工学-微电子学与固体电子学] 0809[工学-电子科学与技术(可授工学、理学学位)] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程(可授工学、理学学位)] 080502[工学-材料学]
摘 要:频差、频率主轴、阻尼差和阻尼主轴等参数是评价半球谐振子性能的关键指标和离子束修调的重要依据。针对传统算法不能辨识阻尼差和阻尼主轴,且频差和频率主轴辨识精度受阻尼差限制的问题,该文提出了一种基于二次型变量E、H、R、S动力学方程的性能参数辨识算法。仿真和实验结果表明,即使谐振子的频差小于阻尼差,算法也能快速准确地辨识频差、频率主轴、阻尼差和阻尼主轴等参数。