影响CVD高纯钛工业化因素研究
Research on influencing factors of high purified titanium industrialization by chemical vapor deposit作者机构：贵州大学材料与冶金学院
出 版 物：《轻金属》 (Light Metals)
年 卷 期：2010年第5期
页 面：45-49页
核心收录：
学科分类：080603[工学-有色金属冶金] 08[工学] 0806[工学-冶金工程]
摘 要：CVD法制备高纯钛过程中,高纯钛沉积速率和杂质含量是制约其规模化生产的主要原因。本文对沉积速率和杂质含量的影响因素进行了分析,发现影响沉积速率的主要因素是:真空度、温度以及加碘方式。影响杂质含量的主要因素是真空度、温度、TiI2蒸汽压以及海绵钛的质量。
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