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电子束辐照下银纳米孔修复的原位研究

In situ repair of Ag nanopores under electron beam irradiation

作     者:张辉 徐涛 孙立涛 ZHANG Hui;XU Tao;SUN Li-tao

作者机构:东南大学-FEI纳皮米中心MEMS教育部重点实验室东南大学电子科学与工程学院江苏南京210096 

出 版 物:《电子显微学报》 (Journal of Chinese Electron Microscopy Society)

年 卷 期:2023年第42卷第2期

页      面:123-128页

学科分类:07[理学] 070205[理学-凝聚态物理] 08[工学] 0805[工学-材料科学与工程(可授工学、理学学位)] 080502[工学-材料学] 0702[理学-物理学] 

基  金:国家自然科学基金资助项目(No.61974021) 中央高校基本科研业务费资助项目。 

主  题:原位修复 纳米孔 电子束辐照 

摘      要:本文通过电子束辐照实现了银纳米孔的原位修复,动态观察了修复过程中的结构演变行为。观察发现纳米孔的修复通过在纳米孔边缘逐层生长的方式实现。几何相位分析证实电子束辐照能够完美修复纳米孔并形成高质量的晶体。此外,电子束强度能够明显影响晶体结构的修复速率,束流密度过大的电子束辐照会导致纳米孔修复速率的下降甚至刻蚀。本文的研究证实了电子束辐照是一种能够有效调控纳米结构的方法,有助于人们进一步加深原子尺度下晶体材料的结构演变行为。

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