基于蒙特卡洛方法平尺测量直线度不确定度评估方法的研究

作     者：李元峰 孟令川 黄垚 杨皓天 LI Yuan-feng;MENG Ling-chuan;HUANG Yao;YANG Hao-tian

作者机构：北京交通大学北京100044 中国计量科学研究院北京100029 伦敦大学学院伦敦WC1E 6BT英国 

出 版 物：《计量学报》 (Acta Metrologica Sinica)

年 卷 期：2023年第44卷第4期

页      面：540-548页

学科分类：08[工学] 080402[工学-测试计量技术及仪器] 0804[工学-仪器科学与技术] 

基　　金：中央高校基本科研业务费专项资金资助(2020JBM075) 

主　　题：计量学 平尺直线度 不确定度评估 蒙特卡洛方法 最小二乘法 最小条件法 峰度偏离 

摘      要：采用蒙特卡洛方法(MCM)对平尺最小二乘直线度和最小条件直线度进行测量不确定度评估。通过与测量不确定度评定指南法(GUM)的评估结果进行比较发现,MCM评估出的最小二乘直线度和最小条件直线度的测量不确定度分别比GUM评估结果小0.028μm和0.026μm。在给定的0.05μm允差范围内,两种评估方法对直线度测量不确定度的评估均有效。统计检验采用了kolmogorov-smirnov检验法、jarque-bera检验法、normal probability plot图示法、偏度和峰度检验法。通过对两种不同定义直线度的测量模型进行统计检验分析发现,被测量分布函数与正态分布的峰度偏离是造成差异的主要原因。