0.02 mm厚钼箔材的显微组织、织构及性能

作     者：李艳 陈文帅 周增林 何学良 惠志林 Li Yan;Chen Wenshuai;Zhou Zenglin;He Xueliang;Hui Zhilin

作者机构：有研工程技术研究院有限公司北京101407 有研科技集团有限公司智能传感功能材料国家重点实验室北京100088 北京有色金属研究总院北京100088 

出 版 物：《稀有金属材料与工程》 (Rare Metal Materials and Engineering)

年 卷 期：2023年第52卷第4期

页      面：1426-1431页

核心收录：

学科分类：08[工学] 0804[工学-仪器科学与技术] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 080502[工学-材料学] 

基　　金：国家重点研发计划专项(2017YFB0306000)。 

主　　题：0.02 mm钼箔 显微组织 织构 力学性能 真空电子器件 

摘      要：以粉末冶金烧结坯为原料,通过多道次轧制和中间退火制备了抗拉强度795 MPa、延伸率1%的0.02 mm厚钼箔。采用场发射扫描电子显微镜、电子背散射衍射以及室温拉伸等手段分析了该箔材的组织、织构及力学性能特征,并与相同工艺下的0.06 mm钼箔进行对比。结果表明:较之于0.06 mm钼箔,0.02 mm钼箔显微组织特征在于晶粒形状皆为颗粒状或细长纤维状,更为均匀细小且长径比更大;其小角度晶界占比降低,尤其是亚晶界的减少更为明显。0.02 mm钼箔中织构组成具有更加向α线织构集中的特点,其晶粒占比达99.7%;虽然2种钼箔的主织构皆为{001},但变形量更大的0.02 mm的{001}组分占比远低于0.06 mm钼箔,而{112}占比则明显更高。0.02 mm钼箔不同方向的力学性能差距更为突出,用以表征各向异性程度的IPA值在3项力学性能指标上都有不同程度的提升;随着厚度减薄,钼箔不同方向的抗拉强度R_(m)、屈服强度R_(p)和延伸率A_(15)、屈强比R_(p)/R_(m)呈现不同的变化趋势,揭示出RD、TD方向加工硬化,45°-RD方向则形变韧化。