光刻设备运输中的并联结构减振方案分析
Analysis of Vibration Reduction Scheme of Parallel Structure in Lithography Equipment Transportation作者机构：上海微电子装备(集团)股份有限公司上海201203
出 版 物：《集成电路应用》 (Application of IC)
年 卷 期：2023年第40卷第2期
页 面：303-305页
学科分类：08[工学] 0802[工学-机械工程] 080201[工学-机械制造及其自动化]
摘 要：阐述光刻设备中的大型精密设备运输减振需求,设计了基于钢丝绳弹簧并联结构的运输减振方案,可以满足运输过程中冲击5g减振需求。探讨钢丝绳并联结构的动力学特性,获得不同参数下系统的减振特性,针对运输减振方案中的结构进行强度仿真,给出某设备运输过程的实测结果。
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