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硅晶切割砂绿色再生工艺装备的运行特性研究

The operating characteristic research of silicon cutting sand green renewable process equipment

作     者:周先桃 蔡俊 吴锦毅 万旭辉 邢晓阳 ZHOU Xiantao;CAI Jun;WU Jinyi;WAN Xuhui;XING Xiaoyang

作者机构:华东理工大学化工机械研究所上海200237 

出 版 物:《再生资源与循环经济》 (Recyclable Resources and Circular Economy)

年 卷 期:2013年第6卷第7期

页      面:33-36页

学科分类:080903[工学-微电子学与固体电子学] 0809[工学-电子科学与技术(可授工学、理学学位)] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程(可授工学、理学学位)] 080502[工学-材料学] 

主  题:硅晶切割砂 零排放 绿色再生工艺 洗涤过程 封闭循环 

摘      要:针对硅晶切割过程中产生的切割废砂浆的资源化回收问题,建立了每小时处理1 t废砂饼的绿色再生工艺装备。通过工业试运行,实现了水资源的循环利用,回收的硅晶切割砂纯度达到97%,6~11μm粒径切割砂的集中度大于78%,6μm以上的切割砂全部实现了回收。该工艺过程不消耗酸碱,节约了化学资源的消耗,从源头上消除了废酸、废碱的污染,是回收硅晶切割砂的一种理想工艺装备。

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