超薄BaTiO_3铁电薄膜隧穿机理研究
作者机构：湖北大学材料科学与工程学院湖北武汉430062 功能材料绿色制备与应用教育部重点实验室湖北武汉430062
出 版 物：《科技信息》 (Science & Technology Information)
年 卷 期：2013年第9期
页 面：26-28页
学科分类：080903[工学-微电子学与固体电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 080502[工学-材料学]
基 金：国家自然科学基金项目 项目编号为No.11174071 湖北省重大专项资助项目研究成果 项目编号为No.2011AAA002
摘 要：采用磁控溅射法制备超薄BaTiO3铁电薄膜,分析了电子隧穿过程,将电流-电压曲线作不同线性拟合,探讨单极性开关和双极性开关形成的物理机制。结果表明Pt/BaTiO3/Pt隧道结中存在SCLC机制、Schottky发射、P-F发射三种物理机制。
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