基于专利视角的MEMS传感器产业分析
作者机构：机械工业信息研究院
出 版 物：《软件和集成电路》 (Software and Integrated Circuit)
年 卷 期：2023年第3期
页 面：70-75页
学科分类：080202[工学-机械电子工程] 08[工学] 0802[工学-机械工程]
主 题：MEMS传感器 服务平台 系统集成 骨干企业 产业化应用 封装测试 中间性 创新能力
摘 要：经过多年发展,我国已经形成从设计研发、中间性试验、生产制造、封装测试到系统集成的完整MEMS传感器产业链条,各环节都有骨干企业布局.同时,一些高校科研院所已建立传感器中间性试验服务平台,助力我国MEMS传感器产业创新发展.但我国仍存在核心技术缺失、创新能力不强、产业化应用不足等问题,亟须突破.
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