ITO薄膜和新型金属化对双面TOPCon电池电性能的影响研究

作     者：陈丹 王冬冬 倪玉凤 杨超 石惠君 

作者机构：青海黄河上游水电开发有限责任公司太阳能电池及组件研发实验室青海西宁810000 青海黄河上游水电开发有限责任公司西安太阳能电力分公司陕西西安710100 

出 版 物：《中国新技术新产品》 (New Technology & New Products of China)

年 卷 期：2023年第1期

页      面：28-31页

学科分类：08[工学] 080502[工学-材料学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 

主　　题：TOPCon电池 新型金属化 发射极 n型多晶硅 ITO薄膜 

摘      要：使用磁控溅射设备制备ITO薄膜和全面积银电极,该文分析了ITO薄膜沉积速率、方块电阻、电阻率和透射率的变化情况,以确定最佳工艺,再对电池的发射极和n型多晶硅钝化性能进行测试分析。使用最佳工艺在TOPCon半成品电池正面和背面沉积ITO薄膜和银电极,测试、分析其对电性能的影响。研究结果表明,当溅射时间为24 min时,电阻率相对较小,透过率对应值大约为88%和86%。当正面光照IV测试时,TOPCon电池背面沉积ITO薄膜和银电极比常规浆料印刷电极的短路电流、填充因子和转换效率分别高了61 mA、1.6%和0.28%,且全面积金属电极与氧化硅层、衬底及多晶硅层的接触电阻满足要求。