锶钡比及膜厚对钛酸锶钡薄膜介电行为的影响
作者机构：西北大学信息科学与技术学院
出 版 物：《中国科技信息》 (China Science and Technology Information)
年 卷 期：2012年第6期
页 面：54-54页
学科分类：07[理学] 070205[理学-凝聚态物理] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 0702[理学-物理学]
基 金：陕西省教育厅自然科学项目(08JK462) 陕西省科技厅自然科学项目(SJ08-ZT04)
摘 要：采用溶胶-凝胶法制备不同锶钡比、不同膜厚的钛酸锶钡薄膜,研究了薄膜的介电行为。性能测试表明,在不同的锶钡比的钛酸锶钡薄膜中,介电性能最好的锶钡比为0.5:0.5,此时介电系数最大介电损耗最小;膜厚与薄膜的介电系数呈线性关系,随膜厚增加薄膜的介电系数线性增加。
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