多晶硅还原炉能耗分析
The Energy Consumption Analysis of Polysilicon CVD作者机构：江苏双良新能源装备有限公司江苏江阴214444
出 版 物：《广州化工》 (GuangZhou Chemical Industry)
年 卷 期：2014年第42卷第14期
页 面：125-127页
学科分类：080603[工学-有色金属冶金] 08[工学] 0806[工学-冶金工程]
摘 要：多晶硅还原炉作为改良西门子法生产多晶硅的核心设备,其在生产过程中的能耗直接影响着多晶硅的生产成本,研究其在生产过程中的能耗去向是非常有意义和必要的。本文结合物料平衡和能量平衡,理论分析了不同炉型的多晶硅还原炉的能量去向,为制造更加节能的还原炉和工业生产过程中还原炉的选型提供了一些思路。
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