阳极键合用微晶玻璃的组成与析晶性能

作     者：李宏 曹欣 何粲 程金树 Li Hong;Cao Xin;He Can;Cheng Jinshu

作者机构：武汉理工大学硅酸盐材料工程教育部重点实验室湖北武汉430070 

出 版 物：《武汉科技大学学报》 (Journal of Wuhan University of Science and Technology)

年 卷 期：2007年第30卷第6期

页      面：584-587页

学科分类：08[工学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 080502[工学-材料学] 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(50472039) 湖北省自然科学基金资助项目(2005ABA011) 

主　　题：阳极键合 微晶玻璃 组成 晶核剂 析晶 

摘      要：以Li2O-Al2O-SiO2（LAS）系统微晶玻璃为研究对象，目的是开发新型微晶玻璃以代替现有的阳极键合用耐热玻璃。采用传统熔体冷却方法，研究以TiO2，ZrO2和P2O3为晶核剂，以Sb2O3为澄清剂，以含Na20，MgO，ZnO的Li20—Al2O3-SiO2系微晶玻璃为基础组成，采用二步法热处理制度制备出符合阳极键合要求的微晶玻璃材料。利用X射线衍射分析（XRD）、扫描电子显微分析（SEM）等测试技术对微晶玻璃的晶相和显微结构进行了测试与分析。结果表明，微晶玻璃的主晶相为p锂辉石或β-石英固溶体，热膨胀系数为（20．207～31．113）×10^-7℃^-1。