带有温度补偿的微流传感器研究

作     者：李勇志 金东洋 黄文雪 胡久龄 景殿涛 LI Yongzhi;JIN Dongyang;HUANG Wenxue;HU Jiuling;JING Diantao

作者机构：沈阳辽海装备有限责任公司辽宁沈阳110000 

出 版 物：《压电与声光》 (Piezoelectrics & Acoustooptics)

年 卷 期：2022年第44卷第6期

页      面：873-876页

学科分类：080903[工学-微电子学与固体电子学] 070207[理学-光学] 07[理学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 080502[工学-材料学] 0702[理学-物理学] 

主　　题：长周期光纤光栅(LPFG) 边孔光纤 微流传感器 温度补偿 传感矩阵 

摘      要：提出一种基于双长周期光纤光栅(LPFG)的边孔光纤微流传感器。该边孔光纤(SHF)内有2个空气孔,是天然的微流体通道,该微流传感器可进行温度补偿。利用CO_(2)激光器在边孔光纤上写入双LPFG,其共振波长分别为1 268.7 nm和1 385.8 nm。实验结果表明,当传感器置于折射率1.335~1.395的甘油水溶液中,2个LPFG共振峰的折射率灵敏度分别为-88.724 nm/RIU和-79.474 nm/RIU,温度灵敏度分别为52.0 pm/℃和55.7 pm/℃,利用折射率和温度灵敏度可推导出传感器的传感矩阵。该文所提出的带有温度补偿的微流传感器具有良好的线性响应度,可实现折射率和温度的同时测量,在环境监测和食品安全领域有潜在价值。