基于355nm紫外激光切割柔性覆铜板的工艺参数优化

作     者：刘文鑫 陈志城 李岩 陈广玉 黄柳青 罗学涛 Liu Wenxin;Chen Zhicheng;Li Yan;Chen Guangyu;Huang Liuqing;Luo Xuetao

作者机构：厦门大学材料学院厦门市电子陶瓷材料与元器件重点实验室福建厦门361005 厦门爱谱生电子科技有限公司福建厦门361101 

出 版 物：《中国激光》 (Chinese Journal of Lasers)

年 卷 期：2023年第50卷第8期

页      面：21-30页

核心收录：

学科分类：080901[工学-物理电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 0803[工学-光学工程] 

基　　金：厦门市重大科技项目(3502Z20201002) 

主　　题：激光技术 紫外激光切割 柔性覆铜板(FCCL) 临界切割能量 工艺参数 

摘      要：针对紫外激光切割柔性覆铜板时出现焦黑碳化、过熔及过多能量损耗等问题,采用355 nm紫外纳秒激光切割机对49μm厚聚酰亚胺双面无胶柔性覆铜板进行激光切割实验,通过预切割遍历参数以验证切割覆铜板的最小能量——临界切割能量。在此基础上,研究了切割参数对柔性覆铜板表面形貌、截面形貌、碳化程度、刻缝宽度以及表面和截面成分变化的影响。实验结果表明:激光切割速度、切割功率和重复切割次数对柔性覆铜板的切割质量具有重要影响,提升切割速度、保持适中的切割功率、降低重复切割次数能够获得切口光滑且无积碳的高质量、低功耗切割效果。由以上结果可得出本实验条件下的最佳工艺参数:切割速度为2000 mm/s,切割功率为12 W,重复切割次数为70次。本实验研究结果为实现柔性覆铜板的高质量、低能耗激光切割提供了工艺依据,而且该切割工艺可适用于柔性电路板、聚酰亚胺覆盖膜及补强板等通过激光切割成形的材料。