放电泵浦深紫外准分子激光关键技术与应用

作     者：梁勖 沈启辉 邵景珍 林颖 Liang Xu;Shen Qihui;Shao Jingzhen;Lin Ying

作者机构：中国科学院合肥物质科学研究院安徽光学精密机械研究所安徽合肥230031 中国科学技术大学安徽合肥230026 

出 版 物：《激光与光电子学进展》 (Laser & Optoelectronics Progress)

年 卷 期：2023年第60卷第19期

页      面：52-65页

核心收录：

学科分类：080901[工学-物理电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 0803[工学-光学工程] 

基　　金：中国科学院科研仪器设备研制项目(YJKYYQ20210007) 基础加强计划重点基础研究项目(2021-JCJQ-ZD-051-00-05) 中国科学院青促会资助项目(2018481) 国家自然科学基金(61307112) 国家科技重大专项(2009ZX02206-004,2013ZX02202004) 

主　　题：激光光学 准分子激光 放电泵浦 深紫外 

摘      要：准分子激光是大功率输出的深紫外波段激光光源,在多方面具有独特的应用,然而国内的准分子激光行业在关键技术、高端产品等方面和国外仍有一定差距,存在着“卡脖子的状况。首先介绍了准分子激光的基本特性、应用分类、国内外的发展情况等;其次着重介绍了放电泵浦准分子激光的基本结构和目前实用器件的多项关键技术,主要包括快脉冲激励源、气体放电腔、光学谐振腔等;最后,介绍了放电泵浦准分子激光在工业、医疗、科研等领域目前的主要应用和进展,分析了其中的一些独特的关键技术。