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采用单边大光腔结构改善电吸收调制器的光场分布

Improving the optical profile of electroabsorption modulator using single-sided large optical cavity structure

作     者:杨华 朱洪亮 潘教青 冯文 谢红云 周帆 安欣 边静 赵玲娟 陈娓兮 王圩 Yang Hua;Zhu Hong-Liang;Pan Jiao-Qing;Feng Wen;Xie Hong-Yun;Zhou Fan;An Xin;Bian Jing;Zhao Ling-Juan;Chen Wei-Xi;Wang Wei

作者机构:中国科学院半导体研究所国家光电子集成重点实验室北京100083 

出 版 物:《物理学报》 (Acta Physica Sinica)

年 卷 期:2007年第56卷第5期

页      面:2751-2755页

核心收录:

学科分类:080903[工学-微电子学与固体电子学] 07[理学] 0809[工学-电子科学与技术(可授工学、理学学位)] 070205[理学-凝聚态物理] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程(可授工学、理学学位)] 0704[理学-天文学] 0702[理学-物理学] 

基  金:国家重点基础研究发展规划(973)项目(批准号:G2000068301) 国家高技术研究发展计划(863)项目(批准号:2002AA312150) 国家自然科学基金(批准号:90101023 60176023 60476009)资助的课题~~ 

主  题:单边大光腔 电吸收(EA)调制器 光场分布 耦合效率 

摘      要:设计并制备了具有单边大光腔结构的半导体电吸收(electroabsorption,EA)调制器.模拟和测试的结果均表明:单边大光腔结构能有效地改善EA调制器的光场分布,使椭圆形的近场光斑变得圆形化,从而达到与圆形模式光纤之间的匹配,有利于提高耦合效率.

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