电子器件功率模块用铝基板草酸阳极氧化工艺参数优化

作     者：杜相如 付巍 DU Xiangru;FU Wei

作者机构：山西工程职业学院山西太原030009 中北大学电气与控制工程学院山西太原030000 

出 版 物：《电镀与精饰》 (Plating & Finishing)

年 卷 期：2022年第44卷第2期

页      面：41-45页

学科分类：080903[工学-微电子学与固体电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 

基　　金：国家级职业教育教师教学创新团队2020课题研究项目(YB2020010302) 

主　　题：草酸阳极氧化 铝基板 电解液温度 电流密度 氧化时间 

摘      要：采用草酸阳极氧化工艺对电子器件功率模块用铝基板进行表面处理,并考察了电解液温度、电流密度和氧化时间对氧化膜的厚度及腐蚀失重的影响。结果表明:电流密度从1 A/dm^(2)增加到3 A/dm^(2),氧化时间从35 min延长到75 min,氧化膜厚度都呈先增加后降低的趋势并且伴随着腐蚀失重先降低后增加。采用单一变量法得到铝基板草酸阳极氧化的最佳工艺参数为:电解液温度25℃、电流密度2 A/dm^(2)、氧化时间55 min。在最佳工艺参数下生成的氧化膜完整且均匀,呈蜂窝状多孔结构,厚度达到18.2μm且腐蚀失重最低,为2.72 mg/cm^(2),能对铝基板起到良好的腐蚀防护作用。