原子层沉积铝掺杂ZnO纳米膜在超级电容器中的应用

作     者：NAEEM Farah NAEEM Sumayyah 张菁 梅永丰 黄高山 NAEEM Farah;NAEEM Sumayyah;ZHANG Jing;MEI Yongfeng;HUANG Gaoshan

作者机构：东华大学材料科学与工程学院纤维材料改性国家重点实验室上海201620 复旦大学材料科学系上海200433 东华大学理学院上海201620 

出 版 物：《材料科学与工程学报》 (Journal of Materials Science and Engineering)

年 卷 期：2021年第39卷第5期

页      面：721-730页

学科分类：080801[工学-电机与电器] 0808[工学-电气工程] 07[理学] 070205[理学-凝聚态物理] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 0702[理学-物理学] 

基　　金：Natural Science Foundation of China(51961145108,61975035) Science and Technology Commission of Shanghai Municipality(19XD1400600,17JC1401700) 

主　　题：铝掺杂的氧化锌 纳米薄膜 原子层沉积 电化学特性 超级电容器 

摘      要：为了满足能源需求,电化学超级电容器开始持续投入应用。在本研究中,提出了铝掺杂的氧化锌(AZO)纳米薄膜在超级电容器中的潜在应用。纳米薄膜是通过原子层沉积技术制备的,其结构是不同循环次数的ZnO和Al2O3超薄膜的交替叠加。超薄AZO纳米薄膜具有良好的电化学性能,结果表明(10∶1)10三明治结构具有最佳的充电和放电性能。在6 M KOH电解质中,电流密度为1A·g^(-1)时,AZO纳米薄膜超级电容器的比电容量可达61F·g^(-1)。对于超级电容器的实际应用,演示了该器件可以为红色LED灯供电60min以上。AZO纳米薄膜在超级电容器中具有潜在应用,在未来可推广到可穿戴柔性能源存储器件。