显微激光诱导电流技术研究进展

作     者：苏丹 吕磊 杨毅 王善江 周桓立 刘肇国 张彤 

作者机构：东南大学仪器科学与工程学院微惯性仪表与先进导航技术教育部重点实验室 东南大学电子科学与工程学院信息显示与可视化国际合作实验室 东南大学苏州校区苏州市金属纳米光电技术重点实验室 

出 版 物：《红外与激光工程》 (Infrared and Laser Engineering)

年 卷 期：2021年

核心收录：

学科分类：080903[工学-微电子学与固体电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 080502[工学-材料学] 

基　　金：国家自然基金面上项目(61875241) 国家重点研发计划(2017YFA0205804) 

主　　题：激光诱导电流 微纳结构 光伏器件 光电探测器件 

摘      要：随着光电器件的研究步入微米/纳米尺度，显微激光诱导电流(LBIC)技术作为一种半导体器件的无损、快速、可成像的表征技术得到迅速发展。显微LBIC技术可表征局域光照激励下器件的光电转换性能，起初被用于检测器件中的不均匀性或缺陷。近年来，将显微LBIC技术与其他显微成像技术相关联，进行器件多物理参量的综合表征，为研究微纳尺度上的材料-结构-器件性能关系提供了有效手段。基于这一表征手段的进步，光伏器件中微观晶体结构与性能的关系研究、全新机理的低维光伏/探测器件研究、以及微纳结构的光伏/探测增强研究等均得到了蓬勃发展。本文综述了显微LBIC技术的研究进展，首先介绍显微LBIC的基本模型及分类，随后聚焦于LBIC与其他多种显微成像的关联表征技术，并探讨该类技术在光伏器件和光电探测器件研究方面的应用。在本文的最后，展望了显微LBIC及其关联成像技术的未来的发展方向。