溶胶-凝胶法制备PZT薄膜研究进展

作     者：刘立崴 周闯 丁江 LIU Liwei;ZHOU Chuang;DING Jiang

作者机构：广西大学机械工程学院广西南宁530004 中国电子科技集团公司第二十六研究所重庆400060 广西制造系统与先进制造技术重点实验室广西南宁530004 

出 版 物：《压电与声光》 (Piezoelectrics & Acoustooptics)

年 卷 期：2021年第43卷第4期

页      面：566-572页

学科分类：080903[工学-微电子学与固体电子学] 080801[工学-电机与电器] 0808[工学-电气工程] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 080502[工学-材料学] 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(No.51905113) 广西自然科学基金资助项目(No.2017GXNSFBA198233) 广西研究生教育创新计划基金资助项目(No.YCSW2020018) 

主　　题：微机电系统 铁电薄膜 铁电性能 PZT薄膜 溶胶-凝胶法 

摘      要：随着微机电系统(MEMS)产业的快速发展,铁电薄膜材料作为微机电器件的重要组成部分而愈受重视。锆钛酸铅(PZT)薄膜具有优越的压电性、热释电性及光电性等性能,在微电子、压电、光学及半导体等领域展现了巨大的应用潜力。因此,高性能PZT薄膜的制备技术及制备工艺一直备受关注。其中,溶胶-凝胶法因具有易于控制成分,所需设备成本低及制备薄膜的均匀性好等优点而被广泛用于PZT薄膜制作中。该文在溶胶-凝胶法基本原理及制作工艺的基础上,着重分析了溶胶-凝胶法制备PZT薄膜的研究现状,总结了当前溶胶-凝胶法的技术特点,并指出了研究中存在的不足及未来的潜在改进方向。