衬底对溶胶-凝胶法制备ZnO压电薄膜的影响

作     者：王敏锐 王兢 陈文 崔岩 Wang Minrui;Wang Jing;Chen Wen;Chui Yan

作者机构：大连理工大学大连116023 大连理工大学大连116023 大连理工大学大连116023 大连理工大学大连116023 

出 版 物：《中国机械工程》 (China Mechanical Engineering)

年 卷 期：2005年第16卷第z1期

页      面：321-323页

核心收录：

学科分类：080903[工学-微电子学与固体电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 0802[工学-机械工程] 0801[工学-力学（可授工学、理学学位）] 

基　　金：国家自然科学资金资助重大项目(90207003) 

主　　题：溶胶-凝胶法 002择优取向 晶态 非晶态 

摘      要：采用溶胶-凝胶法分别在晶态衬底Si/SiO2/Ti/Pt和无定形态衬底Si/SiO2上制备了ZnO压电薄膜.以X射线衍射仪和原子力显微镜研究了薄膜的002择优取向度和表面形貌.结果表明,采用溶胶-凝胶法在Si/SiO2/Ti/Pt和Si/SiO2衬底上都能制备出具有较好择优取向,表面粗糙度低的ZnO薄膜,而且由于Pt和ZnO的晶格失配度较小,在Si/SiO2/Ti/Pt衬底上生长的ZnO薄膜形成002择优取向的退火温度低于在Si/SiO2衬底上生长的薄膜形成002择优取向的退火温度.