CMP干燥模组控制软件设计
Design of Control Software for CMP Equipment Drying Module作者机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所北京100176
出 版 物：《电子工业专用设备》 (Equipment for Electronic Products Manufacturing)
年 卷 期：2021年第50卷第3期
页 面：16-20页
学科分类：080903[工学-微电子学与固体电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 080502[工学-材料学]
主 题：半导体制造 控制软件设计 面向对象 晶圆干燥 化学机械抛光
摘 要：介绍了旋转干燥和异丙醇加热雾化干燥的工作原理,深入分析了控制软件的需求,利用面向对象的设计方法,完成了系统架构的设计,并对干燥加工、异丙醇补液、参数监控3个关键功能模块进行了设计,目前该软件已在设备端应用中达到了理想的工艺性能。
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